[VBA] Split ... erneut Split

Sub Test()
Dim Werte(0 To 1) As Variant, i As Integer, j As Integer
' Das ist meine Ausgangssituation:
Werte(0) = "1$2$3%4$5$6%7$8$9"
Werte(1) = "1$2$3%4$5$6%7$8$9"
' Mit einer Schleife Splitte ich mir die Einträge bei "%":
For i = 0 To UBound(Werte)
Werte(i) = Split(Werte(i), "%")
Next i
' Das erzeugt mir:
' Werte(0)(0) = "1$2$3"
' Werte(0)(1) = "4$5$6"
' Werte(0)(2) = "7$8$9"
' Werte(1)(0) = "1$2$3"
' Werte(1)(1) = "4$5$6"
' Werte(1)(2) = "7$8$9"
' Jetzt möchte ich die Funktion Split erneut anwenden, diesmal aber für "$":
For i = 0 To UBound(Werte)
For j = 0 To UBound(Werte(i), 1)
Werte(i)(j) = Split(Werte(i)(j), "$")   ' Laufzeitfehler '13': Typen unverträglich
Next j
Next i
' Als Ergebnis möchte ich folgendes haben:
' Werte(0)(0)(0) = "1"
' Werte(0)(0)(1) = "2"
' Werte(0)(0)(2) = "3"
' Werte(0)(1)(0) = "4"
' Werte(0)(1)(1) = "5"
' Werte(0)(1)(2) = "6"
' Werte(0)(2)(0) = "7"
' Werte(0)(2)(1) = "8"
' Werte(0)(2)(2) = "9"
' Werte(1)(0)(0) = "1"
' Werte(1)(0)(1) = "2"
' Werte(1)(0)(2) = "3"
' Werte(1)(1)(0) = "4"
' Werte(1)(1)(1) = "5"
' Werte(1)(1)(2) = "6"
' Werte(1)(2)(0) = "7"
' Werte(1)(2)(1) = "8"
' Werte(1)(2)(2) = "9"
' Wie kann ich das realisieren? Das muss doch gehen! Aber wie?
End Sub